15:45 〜 16:00学術奨励賞候補対象キャリアエクスプローラー
[B-9-08]
半導体ウエハの超微細エッチングに向けた特殊波形 RF 電源回路に関する研究
◎△河津 瑞希1、石浜 裕一1、古里 友宏1、石塚 洋一1 (1. 長崎大学大学院)